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半导体行业有机废气来源及治理

时间：2022-04-09浏览量：2559

　　一、半导体制造工艺过程中挥发的各种有机废气，半导体废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。　　1、酸碱废气...

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